Fe/Mo纳米多层膜的结构与纳米力学性能研究

摘要：

通过射频溅射的方法在单晶硅基底上制备了不同调制波长的Fe/Mo纳米多层膜.利用XRD分析了薄膜相结构,用纳米力学微探针测定了薄膜的纳米硬度及弹性模量.结果表明,随着调制波长的增加,子层平行于表面的密排面发生了变化;纳米硬度在小调制波长下出现了超硬现象:弹性模量基本不随调制波长的变化而变化。

关键词： 金属纳米多层膜 X射线衍射 纳米力学性能 射频溅射 薄膜相结构 弹性模量

作者: 王海斗 徐滨士 刘家浚 李国禄

作者单位: 装甲兵工程学院,装备再制造技术国防科技重点实验室,北京,100072 清华大学,机械工程系,北京,100084 河北工业大学,材料科学与工程学院,天津,300130

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006全国摩擦学学术会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 55-58

在线出版日期: 2006-07-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）