利用Ba0.65Ru0.35TiO3缓冲层制备高热释电系数的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜

摘要：

采用射频溅射,在Ba0.65Sr0.35TiO3(BST)薄膜和Pt/Ti/SiO2/Si衬底之间制备10nm的Ba0.65Ru0.35RuO3(BSR)缓冲层,研究了BSR缓冲层对BST薄膜结构和性能的影响.与没有BSR缓冲层的BST薄膜相比,BSR缓冲层可使BST薄膜呈高度a轴择优取向生长,改善了薄膜的介电常数,降低了薄膜的漏电流密度,使其热释电系数达到7.45×107Ccm-2K-1.表明利用BSR缓冲层可以制备高热释电性能的BST薄膜。

关键词： 钛酸锶钡薄膜 热释电性能 缓冲层 铁电介电辐射计 射频溅射

作者: 刘祚麟 吴传贵 张万里 刘兴钊 李言荣

作者单位: 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇六年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 733-737

在线出版日期: 2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）