SU-8平面抛物形折射透镜的设计与研制
作为应用于第三代同步辐射光源的重要一种X射线元件,复合折射透镜成为了近年来X射线光学研究的热点之一.平面抛物形折射透镜是复合折射透镜的重要一种.研究过程中,考虑到X射线衍射仪的特定检测环境及随后加工上的技术要求,优化设计了透镜各个参数,用ZEMAX软件对透镜进行光线追迹,模拟验证了设计结果.单组透镜的几何孔径为250μm,焦距为30cm.共设计30组透镜,透镜个数从1个变化到30个,相应的抛物形顶点处的曲率半径从1.23μm变化到37μm.在光子能量为8.05keV条件下,透镜的理论透过率从43.3％变化到33.2％.焦斑直径均在微米量级.采用紫外光刻微加工技术,制作了SU-8光刻胶平面抛物形折射透镜.透镜厚度为224μm.透镜光学性能的测试正在进行中.
抛物形折射透镜 X射线 X射线衍射仪 紫外光刻
黄承超 徐垚 王占山 陈玲燕 田扬超 刘刚
同济大学精密光学工程技术研究所,上海,200092 中国科技大学国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029
国内会议
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209-214
2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）