上反射法三腔窄带滤光片的研制

摘要：

本文通过对国产上反射法监控光学自动镀膜机的监控精度分析,用TFCalc软件计算了三腔滤光片可能的光谱性能,采用半波控制法进行监控,制作了半带宽30nm的1.06μm三腔窄带滤光片,验证了理论分析的正确性,证明采用非垂直入射监控也能得到性能较好的窄带滤光片.

关键词： 上反射法 窄带滤光片 监控误差 光学自动镀膜机

作者: 马孜 肖琦 姚得武

作者单位: 西南技术物理研究所,四川,成都,610041

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇六年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 88-91

在线出版日期: 2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）