干涉显微镜测量小球面曲率半径

摘要：

本文研究了一种由单幅静态干涉图测量球面曲率半径的方法.针对小曲率半径(R＜50mm)的球面,用林尼克干涉显微镜得到被测球面的静态干涉图.基于阻尼最小二乘法,拟合干涉条纹的光强曲线,得到被测小球面面形的多项式表达式,并由此计算出被测件的曲率半径.讨论了算法初值的选取方法,验证了算法精度并分析了误差因素.对比实验表明,本方法与其他测试方法取得的结果相吻合.

关键词： 曲率半径 阻尼最小二乘法 干涉显微镜

作者: 陈磊 仇智

作者单位: 南京理工大学,电光学院,江苏,南京,210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇六年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 67-71

在线出版日期: 2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）