连续型衍射透镜激光直写技术研究
本文研究了不同于台阶形式的具有连续浮雕结构的衍射聚光透镜的激光直写工艺.简要描述了光致抗蚀剂的曝光和显影,对激光直写工艺的机理和工艺过程进行阐述.利用CLWS-300W/C极坐标激光直写设备制作出了具有良好面形微结构和较高衍射效率的连续型衍射透镜.研究表明,激光直写技术直写精度高,加工工艺灵活,利用计算机的控制,能够根据光学设计产生的浮雕分布数据制作复杂的、任意形状和外形的微型浮雕结构,非常适合于高精度微光学元件的加工制作.
连续型衍射透镜 光致抗蚀剂 激光直写 连续型浮雕结构 微光学元件
刘宏开 罗崇泰 王多书 陈焘 叶自煜
兰州物理研究所,表面工程国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000
国内会议
成都
中文
53-56
2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）