2μm激光探测器的设计和制备
通过分析2μm波长的差分吸收雷达(DIAL)用于测量大气气象参数和CO2分布等测量对激光探测器的技术要求,介绍了相应的2μm波长光电二极管探测器的技术指标.根据该指标进行了器件的材料、材料结构和器件结构设计.其外延材料采用了In1-xCaxAsyP1-y系列结构.为了减小暗电流和噪声,器件结构借用InGaAs雪崩管的分离吸收区和倍增区结构,把PN结放在具有宽带隙的InAs1-yPy中,光吸收在窄带隙的In1-xGaxAs中.最后,简略介绍了该器件的制备工艺和技术。
2μm激光探测器 光电二极管 制备工艺 暗电流 噪声
石柱 王鸥
西南技术物理研究所,成都,610041
国内会议
成都
中文
587-592
2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）