关于蓝宝石减反膜的研究

摘要：

中波红外探测器主要采用锗（GE）、硅（SI）和蓝宝石（AL2O3）作为窗口。为了提高红外探测器的响应率和光谱响应，必须在光学窗口上镀制一层或多层膜料的3－5μm减反膜，并且要求减反膜要满足探测器制作工艺和使用环境的要求。本文介绍了蓝宝石(AL2O3)在中红外波段的减反膜的设计制作方法.

关键词： 蓝宝石 减反膜 红外探测器

作者: 任秀娟 曹雪峰

作者单位: 华北光电技术研究所,北京,100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇六年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 185-187

在线出版日期: 2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）