锆钛酸铅薄膜腐蚀研究

摘要：

通过对腐蚀溶液的优化,获得了一种刻蚀效果良好的锆钛酸铅(PZT)薄膜的腐蚀溶液配方.所采用的PZT薄膜是通过溶胶-凝胶(sol-gel)法获得的.在研究腐蚀溶液组分、温度以及浓度对腐蚀速率影响的基础上,成功获得了PZT薄膜微图形化的湿法腐蚀工艺.通过实验研究,获得了横向和纵向腐蚀速率随温度和浓度变化曲线,侧蚀比(横比纵)小于1:1.07,且图形表面无残留物.

关键词： PZT薄膜 湿法腐蚀 腐蚀速率

作者: 蔡长龙 李明 马卫红 刘卫国

作者单位: 西安工业大学,光电微系统研究所,西安,710032

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇六年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 646-649

在线出版日期: 2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）