LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区

摘要：

介绍了激光诱导电流(LBIC)技术的测试原理,并用该技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区.用分子束外延(MBE)方法生长掺杂InGaAs的PINInP/InGaAs/InP外延材料,通过台面制作,硫化处理,ZnS/聚酰亚胺双层钝化,电极生长,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器.测试结果表明,InGaAs线列探测器相邻探测器间没有串音,虽然台面结构周围吸收层已被腐蚀,但因为少数载流子的侧向收集,有效光敏感区扩大.LBIC技术可以直观、方便、无损伤的研究InGaAs探测器的串音和光敏感区的有效面积,对线列和面阵InGaAs焦平面的研究和设计有重要的意义.

关键词： 激光诱导电流技术 InGaAs 探测器 串音 光敏感区

作者: 吕衍秋 乔辉 韩冰 唐恒敬 吴小利 李雪 龚海梅

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇六年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 626-630

在线出版日期: 2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）