中/长波双色量子阱红外探测器及大面阵的研制

摘要：

使用GaAs/AlGaAs量子阱和InGaAs/AlGaAs应变量子阱在国内率先研制出了双色同像素结构的中波/长波量子阱红外探测器及160×128元中波/长波双色多量子阱红外探测器芯片.在77K时,对量子阱红外探测器测试,中波段峰值探测率为Dλ*=1.61～1.90×1010cmHz1/2W-1,中波段峰值波长:2.7～3.8μm.长波波段峰值探测率为Dλ*=(1.54～2.67)×1010cmHz1/2W-1.长波段峰值波长为8.3μm.

关键词： 红外探测器 量子阱 中波 长波

作者: 种明 马文全 苏艳梅 张艳冰 胡小燕 陈良惠

作者单位: 中国科学院半导体研究所,纳米光电子实验室,北京,100083 中国电子科技集团第十一研究所,北京,100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇六年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 622-625

在线出版日期: 2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）