非晶硅室温微测辐射热计的研制
将聚酰亚胺作为绝热材料,对传统室温微测辐射热计结构进行了改进,成功制备了非晶硅室温微测辐射热计并进行了测试.以聚合物材料作为绝热材料,避免了表面牺牲层工艺和体加工技术,从而大大降低了成本、提高了成品率.在传统探测器结构基础上,在底部制备一层金属用作红外反射层,利用吸收层可以对红外辐射进行二次吸收.金属层和有源层间的隔离层对红外也有很好的吸收效果,由隔离层、有源层和钝化层构成三明治结构,可以显著改善对红外辐射的吸收.文中对器件的制备工艺进行了详细说明并对器件特性进行了测试,测试结果表明,在773K黑体源8～14μm红外辐射下,探测器的响应度最大为26.4kV/W,表明器件具有较高的性能.
非晶硅 室温微测辐射热计 聚酰亚胺 三明治结构
刘兴明 韩琳 刘理天
清华大学,微电子学研究所,北京,100084
国内会议
成都
中文
682-686
2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）