用于圆形口径光学元件的功率谱密度检测

摘要：

光学元件加工质量的检测和评价是保证整个光学系统安全、正常运(PowerSpectralDensity,PSD)能给出光学表面的空间频谱分布,反映高精度光学元件加工质量的特殊要求.本文在总结现有功率谱密度指标基础上,提出由于圆形口径的旋转对称性,可以采用径向波前功率谱密度来表征圆形口径光学元件波前频谱分布特征的方法,并给出了采用三坐标仪作为测试仪器测量圆形口径光学元件的波前功率谱密度时相应的数值计算方法.

关键词： 功率谱密度 光学检测 空间频率 光学元件

作者: 陈伟 姚汉民 伍凡 朋汉林 吴时彬

作者单位: 中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇六年全国光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 97-100

在线出版日期: 2006-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）