基于keithley model 590对微悬臂梁电容的测试

摘要：

本文在硅基上制作的微悬臂梁和硅衬底组合形成微悬臂梁电容.微悬臂梁在吸收红外辐射后温度变化并弯曲,导致微悬臂梁电容大小发生改变.利用测微小电容的keithleymodel590可检测微悬臂梁电容的微小变化,从而得到红外辐射情况.

关键词： keithley 微悬臂梁 电容

作者: 刘海涛 董金珠 陈永平 梁平治

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;中国科学院研究生院,北京,100049 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十六届全国测控、计量、仪器仪表学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1009-1012

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）