RF-PCVD法制备纳米Al2O3粉体动力学模型的建立
本文采用RF-PCVD法,以AlCl3+O2为反应体系,分析高频等离子反应器内的高温化学反应、Al2O3气相成核以及晶粒长大过程,认为晶粒的长大过程为制备过程的控制步骤,并决定最终粉体的粒度大小.采用分子动力论中的Brownian碰撞理论,经合理简化,建立了晶粒长大的动力学模型.模型表明:颗粒的长大速率与温度的1/2次方、Al2O3的浓度成正比,与粒径的2/3次方成反比,体系本身对长大过程存在自约束现象.在高频等离子反应器内,传递因素决定纳米颗粒的最终粒径大小及其分布。
高频等离子体 化学气相沉积 纳米粉体 氧化铝粉体 动力学模型
王俊文 孙彦平 庄壮 陈新谋
太原理工大学化学化工学院,山西,太原,030024 石家庄经济开发区新谋新技术公司,河北,石家庄,050035
国内会议
河南洛阳
中文
71-75
2006-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）