氧化钒薄膜的电学性质研究

摘要：

采用离子束溅射和退火工艺,在K9玻璃基体上制备了氧化钒薄膜,并对其微观形貌及组成进行了研究.SEM结果表明,所制备的氧化钒薄膜均匀致密,晶粒尺寸达纳米量级,平均约50nm.由XPS分析可知,薄膜中钒的价态为+4价和+5价,薄膜由VO2和V2O5组成.自行研制了一套实时测量、动态显示测量结果的电阻-温度关系测试系统.应用该测试系统测量了薄膜电阻随温度变化的关系曲线,发现所制备的氧化钒薄膜具有显著的电阻突变特性,其低温段的激活能为0.3106eV,25℃时的电阻温度系数为-0.0406K-1.

关键词： 氧化钒薄膜 电学性质 微观形貌 薄膜电阻

作者: 陈学荣 胡军志 韩文政

作者单位: 装甲兵工程学院,装备再制造工程系,北京,100072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国装备再制造工程学术会议暨首届青年再制造工程学术论坛

会议地点: 济南

会议语种:中文

页码: 244-246

在线出版日期: 2006-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）