嵌入式自动调焦IC晶片显微图像采集系统的构建

摘要：

在高精密度的IC晶片图像检测分析中,图像的实时采集和自动调焦是保证显微成像系统获得清晰图像的关键技术.文中提出了一种基于嵌入式高速图像采集和自动图像聚焦判断的视觉检测嵌入式系统平台,在嵌入式系统建立多任务机制实现图像采集,精密工作台控制以及自动调焦等过程的管理和任务调度.在图像采集中使用嵌入式控制器、FPGA和彩色图像传感器为核心的图像采集与控制模式,对图像的清晰度的评价采用灰度梯度判断函数,在调试过程中分别对均方差评价和灰度差评价的调焦过程的数据进行比较,经过分析使用灰度差聚焦评价方法具有明显的单峰性,局部极值少,调焦误差最大为5um,满足IC晶片显微成像系统的要求.

关键词： 显微成像系统 嵌入式系统 图像采集 自动调焦 灰度差 IC晶片

作者: 邓耀华 刘桂雄 吴黎明 薛向东 张颖敏

作者单位: 华南理工大学机械工程学院,广州,510643;广东工业大学信息工程学院,广州,510006 华南理工大学机械工程学院,广州,510643 广东工业大学信息工程学院,广州,510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006国际仪器仪表与测控自动化高峰论坛

会议地点: 广东深圳

会议语种:中文

页码: 70-74

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）