扭摆微镜在阶跃电压驱动下的动态吸合电压分析
扭摆微镜结构(即微机械扭摆执行器)在显示、光开关和光信号调制等方面有广泛应用.已有的对扭摆微镜运动的分析都是基于静态电压驱动条件下进行的.由于实际的驱动信号往往是一个阶跃电压信号,已有的分析有很大的缺陷.本文分析了阶跃电压驱动下扭摆微镜的运动,得到了扭摆微镜的动态吸合电压Vpull-in(d)的解析表式,比较了静态驱动和阶跃驱动情况下吸合电压的差别,并给出了动态吸合电压和几何参数的关系曲线.
扭摆微镜 阶跃电压驱动 动态特性 吸合电压
王婷 鲍敏杭 周佳 黄宜平
复旦大学,信息学院微电子学系,200433
国内会议
西安
中文
485-488
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）