基于静电机制的MEMS液滴驱动器芯片

摘要：

本文提出了一种基于静电机制的可编程微电极阵列液滴驱动器,它采用重搀杂多晶硅制备微电极阵列,热氧化硅作为介质层,碳氟聚合物薄膜作为疏水层.通过控制施加电压的脉冲时序,操控电极阵列上疏水层表面的液滴.在空气环境下,成功实现了液滴的快速传输,液滴传输速度可达24mm/s,驱动电压仅为30v.

关键词： MEMS 静电驱动 微流体 微全分析系统 液滴驱动器 芯片

作者: 吴建刚 岳瑞峰 曾雪锋 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 478-480

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）