一种基于CMOS工艺的集成湿度传感器
本文设计并制备了一个CMOS工艺兼容的集成湿度传感器,湿度传感器与CMOS测量电路集成在一起,制作加工在同一芯片上.片上集成的湿度传感器为叉指电容式,感湿介质为聚酰亚胺,本文给出了相应的感湿模型.针对湿度传感器在全量程电容变化量较小,本文采用开关电容电路作为片上微电容测量电路,讨论了电路的原理并给出了模拟结果.芯片采用3um多晶硅栅标准CMOS工艺进行流水,测量结果表明,在25℃时,环境相对湿度从15﹪RH变化到75﹪RH,输出直流电平相应从1.16v变化到1.56v,且具有较好线性度.
开关电容电路 聚酰亚胺 CMOS 传感器
彭韶华 黄庆安 秦明 张中平
东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
国内会议
西安
中文
473-477
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）