MEMS结构NO2传感器的研究

摘要：

本文采用MEMS技术研制了一种以硅材料为基底,具有MEMS结构的NO2传感器,敏感材料选用金属酞菁化合物-酞菁锌.阐述了该传感器的工作原理、结构设计和工艺流程.给出了酞菁锌薄膜的制备方法.通过分析测试了该传感器的特性,并讨论了酞菁锌的敏感机理.

关键词： MEMS技术 酞菁锌薄膜 气体传感器 二氧化氮

作者: 刘鑫 邱成军 左霞 孔珊珊 任华

作者单位: 黑龙江大学,集成电路重点实验室,哈尔滨,150080 黑龙江大学,功能材料实验室,哈尔滨,150080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 463-465

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）