声表面波传感器叉指换能器的建模仿真

摘要：

叉指换能器(IDT)是声表面波(SAW)器件的一个重要组成部分,本文分别采用δ函数模型、等效电路模型和耦合模模型对其进行建模仿真:根据器件的压电性、叉指换能器结构及其中传播的声波的特点,分别建立三者的数学模型,然后在MATLAB中进行仿真,最后得出了较为一致的结果,同时比较了三者的特点,对声表面波传感器的叉指换能器设计具有指导意义.

关键词： 声表面波 传感器 叉指换能器 等效电路 耦合模 建模仿真

作者: 毛伟 杨明艳 贝伟斌 叶学松

作者单位: 浙江大学,生物医学工程与仪器科学学院,生物传感器国家专业实验室,生物医学工程教育部重点实验室,杭州,310027 中电科技德清华莹电子有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 507-513

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）