Al2O3微结构基板的SnO2气体传感器研究

摘要：

本文以检测一氧化碳气体为目标,介绍一种新颖的Al2O3微结构基板的SnO2气体传感器.该传感器将硅微加热器式集成气体传感器的低功耗优点和烧结型SnO2气体传感器的成熟技术结合起来;除具有低功耗、高灵敏度等优点外,还具有无引线封装所形成的高可靠性等优点.文中介绍了这种传感器的设计和制造技术.

关键词： Al2O3 微结构 气体传感器

作者: 张洪泉 杨梅 唐祯安

作者单位: 中国电子科技集团公司第49研究所 大连理工大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 429-431

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）