感应耦合等离子体化学气相淀积制备厌水性碳氟聚合物薄膜及其特性的研究

摘要：

本文采用ICP-CVD法并以c-C4F8为反应气体制备出厌水性的碳氟聚合物薄膜,并研究了淀积条件与去离子水和薄膜之间的静态接触角的关系.结果表明,随着c-C4F8的气体流量增加和射频功率减小,去离子水和薄膜之间的静态接触角增加.在c-C4F8的气体流量为60sccm和射频功率为400W的情况下,去离子水和碳氟聚合物之间的静态接触角为112°.分别利用原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)测试了薄膜表面的形貌和化学键,分析了静态接触角增加的原因.

关键词： 厌水性薄膜 感应耦合 等离子体 化学气相淀积 接触角 碳氟聚合物

作者: 曾雪锋 岳瑞峰 吴建刚 胡欢 康明 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 392-395

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）