用于红外光声传感器的MEMS光源

摘要：

本研究设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较.测试结果显示,发射光谱带在2μm～4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20Hz～40Hz之间有较好的调制度.这些特性已经符合多数红外传感器的要求.

关键词： 红外光源 发射率 气体传感器 辐射材料

作者: 吴飞蝶 纪新明 王建业 周嘉 黄宜平 刘全 鲍敏杭

作者单位: 复旦大学微电子系,上海,200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 294-297

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）