新型硅压力传感器的失效分析

摘要：

本文以新型硅压力传感器可靠性试验为基础,针对产品在试验过程中暴露出的问题,进行失效分析及有效改进,提高其在自然环境和工作现场抵抗温度、湿度、腐蚀、振动、冲击、电磁场等环境条件的影响能力.

关键词： 新型硅压力传感器 可靠性试验 失效分析

作者: 吴虹 李延夫 于振毅 张玉杰

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 290-293

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）