灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制
溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在＜1.5～2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一.在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿,使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度,比在后续电路上进行温度补偿,温度响应快.本文介绍了灵敏度温度自补偿压力敏感元件的设计及研制.实测结果表明,采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件,灵敏度温度误差较小,可以控制在0.25×10-4/F.S℃以下,传感器的温度性得到了提高.
薄膜压力传感器 敏感元件 灵敏度温度自补偿 灵敏度温度误差
李小换 张世名 邹其利 郭志萍
航天长征火箭技术有限公司MEMS中心,北京,100076
国内会议
西安
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282-285
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）