基于MEMS技术的硅微加速度计制作
MEMS是新兴的跨学科高新技术研究领域,它有着广阔的应用前景和诱人的市场价值.MEMS技术与传感器技术相结合是MEMS技术发展的必然阶段而且已经在许多领域取得了巨大的成功.加速度测量作为一种基本的物理量测量具有广泛的应用需求.因此基于MEMS技术的微加速度传感器研究是拥有巨大市场潜力的研究方向.本文介绍了微加速度计的基本结构、工作原理和加工工艺.突出地说明了它的优越性和广泛应用,并对硅微工艺进行了相应的说明.
MEMS 硅微加速度计 压阻式 等离子体刻蚀
陈俊刚 赵玉龙 蒋庄德
西安交通大学机械工程学院精密工程研究所 机械制造系统工程国家重点实验室 陕西省微型机械电子系统研究中心
国内会议
西安
中文
275-277
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）