影响有阀微泵性能的主要因素研究
本研究采用氧化、光刻、腐蚀、键合等MEMS技术,研制了一种硅基压电式有阀微泵,泵的外形尺寸为(14×14×3)mm3,泵腔体体积约20mm3,硅阀片厚度在25μm～30μm之间.通过大量试验测试,分析了泵压与工作频率;流量与工作频率的关系.当工作电压为145V、频率为100Hz时,有阀微泵稳定工作的泵压可达2m水柱高,最大流量13mL/min.分析认为:有阀微泵工作不稳定是由气穴现象造成,引起气穴产生的主要因素有:工作频率,阀片结构,以及压电驱动元件.
MEMS 微泵 压电驱动
鲍志勇 王蔚 刘晓为 王喜莲
哈尔滨工业大学,MEMS中心,哈尔滨,150001
国内会议
西安
中文
272-274
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）