典型微型流体壁面剪应力传感器比较研究

摘要：

基于MEMS技术设计制造的传感器在时间和空间分辨率、能量消耗和批量生产方面的优势使得微型壁面剪应力传感器在航空航天领域有很大的发展应用空间.本文通过分析三种典型的基于MEMS技术的用于测量流体壁面剪应力的微型传感器的测量原理、器件结构和器件特性,结合它们各自的设计特点和优缺点,分析总结出三种典型微型壁面剪应力传感器的适用场合和应用前景,为用于流体壁面剪应力测量的性能更好、更合适的微型传感器的开发研究提供参考依据.

关键词： MEMS 壁面剪应力 传感器

作者: 刘奎 苑伟政 邓进军 马炳和 姜澄宇

作者单位: 西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 250-254

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）