小型高精度差压传感器

摘要：

本文介绍了一种双绝压敏感芯体配对的差压传感器,它是利用硅压阻原理测量气体或液体的压力差,不仅精度高,而且体积小.传感器利用信号处理电路将压差信号转换成标准电信号输出.

关键词： 传感器 差压 信号处理 电路

作者: 郭丽娟 陈信琦 孙海玮

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,辽宁,沈阳,110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 241-242

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）