MEMS硅微悬臂梁谐振器的仿真设计

摘要：

本文研究了硅微悬臂梁谐振器工作原理,给出了微悬臂梁谐振器的MEMS仿真加工工艺.通过Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器进行了机械特性分析,探讨了微悬臂梁尺寸与固有频率之间的关系;对提高MEMS器件设计的效率和质量,缩短硅微悬臂梁加工制作周期具有一定的指导意义,可以为实际的MEMS器件的生产和设计提供参考.

关键词： MEMS 悬臂梁 谐振器 仿真

作者: 卜丹 邱成军 刘红梅 魏娜

作者单位: 黑龙江大学,集成电路重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 227-229

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）