压电微压传感器

摘要：

论文介绍了一种新颖的压电微压传感器.它主要由敏感元件和内置前置放大器组成,敏感元件为单晶形结构.前置放大器为高输入低输出的电荷放大器,它将压电晶片的高输出阻抗转换成低输出阻抗,同时将晶片探测到的信号放大.传感器的灵敏度为0.38mVPa,压力范围1kPa,非线性度1﹪F.S,响应时间40um,固有频率8.5kHz.与现有的同类型传感器比较,它具有灵敏度高,结构简单,成本低的优点.

关键词： 压力传感器 压电原理 电荷放大器

作者: 朱同淑 李书相 杜宏亮 王丽坤

作者单位: 北京邮电大学,北京,100876 北京信息工程学院,北京,100101

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 220-223

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）