一种新型对称旋转梳齿微驱动器

摘要：

本文针对一般旋转梳齿微驱动器旋转角度小、驱动电压大以及响应非线性化的缺点,分析得出影响微驱动器性能的主要原因是存在横向位移,并且设计了一种具有对称结构的旋转梳齿驱动器,消除了横向位移,较大幅度地提高了驱动器性能.

关键词： MEMS 旋转梳齿微驱动器 横向位移

作者: 万江文 岳宁煜 冯仁剑

作者单位: 北京邮电大学,北京,100876

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 211-216

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）