溅射薄膜压力传感器研制及应用

摘要：

本文介绍了溅射薄膜压力传感器的主要制造工艺,以及溅射薄膜压力传感器及其扩展产品的型号应用.溅射薄膜压力传感器采用了现代薄膜工艺技术,用陶瓷介质代替了传统应变式压力传感器的粘贴胶层,并采用先进的离子束溅射沉积和离子束溅射刻蚀工艺制作桥臂电阻.

关键词： 敏感元件 离子束溅射 数字式压力传感器

作者: 朱大治

作者单位: 中国航天科技集团公司第七0四所 北京 100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 199-202

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）