CZ14型压电加速度传感器机电耦合仿真分析

摘要：

本文基于有限元方法对CZ14型压电加速度传感器动态特性进行了数值分析,考虑压电材料与结构的机电耦合.预估结构参数对动态特性的影响,用以指导和改进传感器的结构设计.结果表明仿真与试验数据吻合良好,从而为实现传感器结构的优化设计创造了很好的条件.

关键词： 有限元 压电加速度传感器 机电耦合 仿真分析

作者: 罗承刚

作者单位: 中国工程物理研究院结构力学研究所,绵阳

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 185-188

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）