TPMS用压力敏感元件的设计
本文给出了TPMS用压力传感器的设计方法,并根据这一设计研制了一种轮胎压力传感器芯片,经过理论计算,根据它的低功耗要求,并兼顾需要它启动快、预热时间短的原则对芯片中的转换元件,采用微型化设计,并将目前国际上最新的硅-硅真空键合技术和基于MEMS技术的硅体微机械加工制造技用于芯片的制作工艺中、大大地缩小了单元尺寸,有效的降低了成本;已研制成功的用这一芯片制造的压力传感器性能已达到了实用化要求,为我国自主的开发TPMS产品迈出了第一步.
TPMS 轮胎压力 压力敏感元件 传感器
王文襄 王善慈 王冰 许广军 谢维钦 吴如兆
昆山双桥传感器测控技术有限公司,215325
国内会议
西安
中文
171-175
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）