周边固支压阻传感器敏感元件的ANSYS仿真分析

摘要：

本文利用ANSYS程序含有的有限元分析能力对一种基于MEMS技术的压阻式高g值冲击加速度传感器的敏感元件进行了受力和模态分析,为了解和指导压阻芯片的制作和传感器的封装提供了可信的分析结果.通过仿真给出了圆膜片受100000g加速度时的仿真挠度云图、径向应力曲线、切向应力曲线和前六阶模态响应的仿真结果,模态分析结果表明该结构压阻式冲击加速度传感器的频率响应特性可以满足高g值应用的要求.

关键词： ANSYS 压阻式 MEMS 仿真分析 模态分析 传感器

作者: 邵贤忠 吴祖堂 李运良 李鹏 戈琳 刘冠兰 姜兴东

作者单位: 西北核技术研究所,西安,710024

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 163-165

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）