热激励氮化硅梁谐振式压力传感器的温度特性研究

摘要：

本文从激振电阻和传感器物理结构两个方面对热激励氮化硅梁谐振式压力传感器输出温漂特性进行了分析.对不同器件的测试证实了分析结果.针对电热激励硅微梁压力传感器的温漂特点,采用软件方法对温度进行补偿.实验结果表明,在0℃～60℃范围内,输出相对误差大大减小,提高了传感器的温度稳定性.

关键词： 热激励 氮化硅梁 谐振压力传感器 稳定性

作者: 陈德勇 崔大付

作者单位: 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 160-162

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）