数字式微机械加速度计系统实现

摘要：

本文提出力平衡式微机械加速度计系统一种数字式实现方法,利用单片机AT89c2051产生方波,控制模拟开关,实现电容电压(C-V)转换,并用单片机ADμc812对C-V转换电路输出信号进行滤波放大处理,得到加速度信号.该系统具有适用范围广,设计灵活,研制周期短等特点,无需设计新硬件,修改单片机算法即可实现对不同加速度计的驱动,通过优化算法就可以实现系统优化.

关键词： 力平衡式 加速度计 数字式 电容电压转换

作者: 王慧泉 金仲和 黄正亮 王跃林

作者单位: 浙江大学信电系半导体光电子所,310027 上海微系统所一室,200050

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 157-159

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）