大量程、高稳定性MEMS惯性伺服加速度计设计与仿真
良好稳定性和大量程设计一直是困扰微惯性加速度计研制的两个难题,本文对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,对加速度计各参数对量程的本质影响及其相互关系进行了研究,理论分析和计算机仿真结果表明:根据给出的四梁中心悬臂结构,在典型结构参数下,惯性敏感单元可承受的最大横向加速度达2000g以上,采取质量块减薄和打孔并用的方法可以保证加速度计具有70g以上量程.
微机械加速度计 四梁中心悬臂结构 稳定性 量程
陈宇晓 文贵印 刘昌孝
中国工程物理研究,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;电子科技大学,四川,成都,610054 中国工程物理研究,电子工程研究所,四川,绵阳,621900 电子科技大学,四川,成都,610054
国内会议
西安
中文
149-153
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）