硅微机械角速率传感器工艺和静态特性研究
本文对一种通过微机械加工工艺制备出的专用角速率传感器环境温度、稳态湿热、抗振动,抗冲击等环境中进行测试,结果表明该传感器的零位输出电压随环境温度的变化较小,经过稳态湿热、抗振动和抗冲击试验后零位输出电压基本保持不变.经过上述环境试验后,本角速率传感器在旋转角速率为14r/s时,该传感器性能为:(1)俯仰或偏航角速率Ω测量范围为±300°/s,(2)零位漂移最大值2mV(5h),(3)分辨率≤0.5°/s,(4)零位偏值≤0.1V,(5)比例系数为30mV/°/s,(6)非线性度为8﹪,在0～250°/s范围时非线性度为2.0﹪.
微机械 角速率传感器 静态特性
毛旭 刘宇 王宏伟 张伟 张福学
北京信息工程学院传感技术研究中心,北京,100101
国内会议
西安
中文
133-136
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）