扩散系数和腐蚀速率常数对牺牲层腐蚀过程的影响
牺牲层化学腐蚀中,腐蚀速率的控制对于避免过腐蚀和准确预测腐蚀时间,从而提高MEMS器件加工效率具有重要意义.影响腐蚀速率的因素有很多,其中腐蚀温度是较为重要而且比较容易实现控制的因素.本文提出了温度对腐蚀速率的影响是通过对腐蚀速率常数和扩散系数的影响来实现,并且对前者的影响程度要大于后者.通过bubble型结构的牺牲层腐蚀实验,发现基于上述思想建立的腐蚀模型和实验结果符合良好.
MEMS 牺牲层腐蚀 腐蚀速率 扩散系数
吴昌聚 马慧莲 金仲和 丁纯 王跃林
浙江大学信息与电子工程系,杭州,310027
国内会议
西安
中文
40-43
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）