集成MEMS系统的研究与发展

摘要：

本文概述了集成MEMS系统的基本组成结构、特点和集成系统加工技术.以国内外最新的几个研究成果报道为例说明了集成MEMS系统的发展现状,并详细总结了集成MEMS系统今后研究开展的若干方向.

关键词： MEMS 传感器 集成系统

作者: 蒋庄德 赵玉龙

作者单位: 机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049 西安交通大学精密工程研究所,西安,710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 31-35

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）