新型工业用硅电容差压传感器、变送器的研制
(0) 硅电容传感器、变送器以其高精度、高可靠性和长时间免维护的高稳定性牢牢地占有着差压传感器、变送器的高端市场.本项目针对硅电容差压传感器、变送器的器件与结构两方面进行了充分的研究,采用MEMS工艺生产小型硅电容器件和三膜片结构组成传感器受压部本体,研制出了自主知识产权的满足工业自动化过程控制使用的硅电容差压传感器、变送器.目前,样品的研制和基本性能测试已完成.从测试结果看,其非线性、重复性、迟滞性、零点和量程的温度影响、压力过载保护等达到并超出了攻关的技术指标.本文将从硅电容传感器、变送器的芯体与结构两方面从原理和工艺角度加以分析介绍,并给出了实际测试数据.
硅电容 差压 传感器 变送器
刘沁 张治国 匡石 李颖
沈阳仪表科学研究院,辽宁省,沈阳市,110043
国内会议
西安
中文
15-21
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）