从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨

摘要：

本文回顾和概括了MEMS传感器进入微米尺度后解决的几个关键性问题.文中结合微传感器发展的典型事例进行分析,并对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定.在总结的基础上分析目前传感器走向纳米尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题.对传感器从微到纳的发展趋势进行了展望.

关键词： 传感器 微米尺度 纳米效应

作者: 李昕欣 王跃林 鲍敏杭 焦继伟 李铁 杨恒 罗乐 车录锋

作者单位: 传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 复旦大学,微电子学系,上海,200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）