感应耦合等离子体的功率耦合效率的理论分析与计算

摘要：

基于变压器模型,本文对感应耦合等离子体中线圈产生的空间电场分布、等离子体电阻、电感及功率耦合效率等进行了数值计算.在计算过程中,考虑了低气压等离子体无碰撞随机加热机制的作用.结果表明,同心线圈的感应电场呈中空分布,径向和轴向均呈现很大的不均匀性;功率耦合效率随线圈品质因数Q及耦合系数K的增大而增大.功率耦合效率的理论分析和计算为线圈优化设计提供了依据。

关键词： 感应耦合等离子体 变压器模型 功率耦合效率 感应电场 线圈优化设计

作者: 狄小莲 辛煜 宁兆元

作者单位: 苏州大学物理科学与技术学院,薄膜材料省重点实验室,苏州,215006

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会第六届全国会员代表大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 93-96

在线出版日期: 2004-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）