二维CMOS风速计的恒温差控制与测量电路设计
现今的风速计常采用智能的能同时测量风速风向,并能够集成传感器与信号处理电路于一体的集成风速风向传感器.本文介绍了这样一种利用恒温差控制的能同时测量风速风向的风速计控制和测量电路.二维MEMS风速传感器由一个加热电阻和八个以该电阻中心对称的温度传感器组成.加热器通过一个反馈回路控制,使其温度始终高于环境温度5～15℃.加热器上的功率反映了风速的大小.一个八选一的多路开关每隔45°提取一个方向上的值进行放大,通过对八组方向上的数据进行处理,可得到风向信号.
风速计 恒温差控制 放大器 CMOS 测量电路
吴剑群 秦明
东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
国内会议
西安
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646-649
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）