一种频率输出的湿度传感器接口电路
本文对微电容测量技术进行了分析和研究,阐述了影响测量精度的主要因素.介绍了一种本实验室开发的集成湿度传感器,它实现了湿敏电容和接口电路在一块芯片上的集成.重点分析了它的接口电路,基于施密特触发器构建,实现电容值与频率值的转换.作者对于流水样片进行了测试,测量范围在相对湿度20﹪～90﹪,电容值与湿度值近似为线性关系,但是输出波形的占空比与理论值有较大的偏差.通过分析,给出了测试结果发生偏差的原因.最后,对施密特触发器的参数进行优化,重新对电路的结构以及版图进行了设计,同时实现与实验室第二代湿度传感器的集成.
MEMS 集成湿度传感器 接口电路 频率输出
程坤 黄庆安 秦明
东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
国内会议
西安
中文
699-703
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）