单片式磁敏二极管阵列的设计与应用研究
常规制作的硅磁敏二极管多为分立器件,只能进行单点磁场测量且温度特性较差.针对上述问题,本文设计了一种单片式磁敏二极管阵列,其中磁敏感单元为两个结构相同且位置对称的磁敏二极管组成的差分结构,磁敏二极管仅有一个高复合表面且制作在侧面.该阵列不仅能够检测垂直于阵列表面方向的磁场,而且具有温度自补偿、高灵敏度及高可靠性等优点,其适用于设计的新型柔性触觉传感器中.
磁敏二极管 温度自补偿 触觉传感器
张东风 孔德义
中国科学院合肥智能机械研究所,合肥,230031
国内会议
西安
中文
547-549
2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）